电子探针分析技术进展及面临挑战

在电子探针诸多优点中，突出的是高空间分辨率特性。由加速电压(1~30kV)产生的电子经过物镜汇聚可以收敛成直径小至1μm的束流，利用这种高度聚焦的电子束轰击样品表面能够获得较低的作用体积。
　　（一） 微量元素分析的局限： (1)当元素含量为百×10-6级及以下时，数据的准确度及精确度有待提高；(2)由于缺乏匹配标样，无法评估数据的准确度及精确度；(3)分析时间延长可以降低检测限，但导致分析效率降低，二者无法兼顾。
　　（二）二次荧光效应： 是指当分析点位置靠近两相边界时，电子束与样品作用产生的X射线会激发临近相所含元素的特征X射线的现象。二次荧光效应在电子探针中是普遍现象，忽略该效应带来的影响，则很可能获得错误的结果，导致地质解释不合理。
　　（三） 场发射电子探针低电压下元素分析：目前低电压条件和校正的系统研究还比较少，场发射电子探针通常仍采用传统的高电压(15~20kV)条件，极大地限制了场发射电子探针高空间分辨率及低电压下大束流稳定的优势。因此，该方向技术的开发迫在眉睫。
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